薄膜的膜厚小于10μm，大多处于小于薄膜电阻1μm;薄膜电阻采用的是真空蒸发、磁控溅射等工艺方法。薄膜电阻则可以做到0.01%万分之一精度，0.1%千分之一精度等。薄膜电阻则可以做到非常低的温度系数，这样电阻阻值随温度变化非常小，阻值稳定可靠。所以薄膜电阻常用于各类仪器仪表，医疗器械，电源，电力设备，电子数码产品等。