薄膜的膜厚小於10μm，大多處於小於薄膜電阻1μm； 薄膜電阻採用的是真空蒸發、磁控濺射等工藝方法。 薄膜電阻則可以做到0.01%萬分之一精度，0.1%千分之一精度等。 薄膜電阻則可以做到非常低的溫度係數，這樣電阻阻值隨溫度變化非常小，阻值穩定可靠。 所以薄膜電阻常用於各類儀器儀錶，醫療器械，電源，電力設備，電子數碼產品等。